Bột nhôm oxit trắng nung chảy dùng để phun cát làm sạch các bộ phận bằng thép không gỉ của thiết bị sản xuất chip bán dẫn.

Bột nhôm oxit trắng nung chảy dùng để phun cát làm sạch các bộ phận bằng thép không gỉ của thiết bị sản xuất chip bán dẫn.

Nhôm oxit nung chảy trắng (viết tắt là WFA), còn được gọi là nhôm oxit nung chảy điện và thường được gọi là đá mài trong ngành công nghiệp, có pha tinh thể chính là α-Al₂O₃ với độ cứng Mohs là 9. Đây là chất mài mòn đặc biệt dùng để phun cát cho các bộ phận bằng thép không gỉ 304/316L của thiết bị bán dẫn.

Các chi tiết áp dụng: các bộ phận bằng thép không gỉ chính xác như buồng chân không bán dẫn, mặt bích chân không siêu cao CF, vòng đỡ wafer, lõi van làm kín, đồ gá thử nghiệm và cụm đường ống dẫn khí. Chức năng của quá trình phun cát: loại bỏ bavia, mối hàn và lớp oxit sinh ra do gia công CNC; tạo ra các hoa văn neo mờ đồng nhất và có thể kiểm soát được; dùng làm bước tiền xử lý bề mặt cho các thao tác mài, đánh bóng và phủ lớp tiếp theo.

2. Các chỉ số vật lý và hóa học cốt lõi của alumina trắng nung chảy có hàm lượng natri thấp và độ tinh khiết cao dùng để phun cát làm sạch các bộ phận bằng thép không gỉ của thiết bị sản xuất chip bán dẫn.

• Al₂O₃ ≥ 99,5%
• Fe₂O₃ ≤ 0,05%
• Na₂O ≤ 0,25% (loại có hàm lượng natri thấp để giảm thiểu ô nhiễm do kết tủa kim loại kiềm)
• SiO₂ ≤ 0,15%

Hình thái hạt: hạt đều, có cạnh sắc, khả năng tự mài sắc tốt; các cạnh cắt mới liên tục được tạo ra khi các hạt bị vỡ trong quá trình nổ mìn.

3. Kích thước hạt phun cho bột nhôm oxit trắng nung chảy dùng để phun cát các bộ phận bằng thép không gỉ của thiết bị sản xuất chip bán dẫn.

• Phun cát thô (loại bỏ các vết hàn dày và lớp oxit cứng): F60, F80 / 60#, 80#
• Phun cát làm mờ chính xác (phương pháp phổ biến trong ngành bán dẫn, tạo ra bề mặt mờ mịn và đồng đều): F100, F120, F180, F240 / 100#, 120#, 180#, 240#

Kích thước hạt mịn hơn mang lại giá trị Ra bề mặt thấp hơn và kết cấu mịn hơn, phù hợp cho các linh kiện chân không đòi hỏi độ sạch cao.

4. Ưu điểm cốt lõi của alumina nung chảy trắng dùng trong phun cát các bộ phận bằng thép không gỉ của thiết bị sản xuất chip bán dẫn

1. Hiệu suất ít gây ô nhiễm : Hàm lượng sắt cực thấp giúp loại bỏ sự xâm nhập của sắt và hiện tượng đổi màu bề mặt sau khi phun cát, đồng thời ngăn ngừa ô nhiễm kim loại nặng trong môi trường sản xuất chip bán dẫn. Vật liệu này có tính trơ hóa học tuyệt vời và khả năng chống axit và kiềm, và việc làm sạch bằng sóng siêu âm sau đó dễ dàng loại bỏ các hạt mài mòn còn sót lại.

   Kết cấu bề mặt có thể kiểm soát : Các hạt mài góc cạnh sắc nét tạo ra các mẫu neo mờ đồng nhất và ổn định. Người dùng có thể chọn kích thước hạt phù hợp theo giá trị Ra mục tiêu và tránh làm mài mòn quá mức các chi tiết thép không gỉ thành mỏng có độ chính xác cao.

   Khả năng chống mài mòn và tái sử dụng : Độ cứng cao và độ dẻo dai cân bằng giúp giảm thiểu lượng vật liệu mài mòn tiêu hao. Hạt mài thích hợp cho cả máy phun cát khô và ướt, hỗ trợ nhiều chu kỳ tái chế và phun cát, đồng thời giảm chi phí sản xuất tổng thể một cách hiệu quả.